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如权利要求4所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述电子测量仪包括一电子千分表以及一千分表夹持装置；所述电子千分表夹持在所述千分表夹持装置上，所述千分表夹持装置一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述横向蜗杆上。如权利要求1所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述传感器夹持装置包括一纵向螺杆以及一夹持器；所述夹持器套设在所述纵向螺杆上，所述激光位移传感器夹持在所述夹持器上。aaaaaaaaa激光三角反射式测量原理基于简单的几何关系。宝山区激光位移传感器制作厂家
本实用新型要解决的技术问题，在于提供一种激光位移传感器检验校准装置，通过该装置来提高检验的精度，减小设备尺寸节约空间。本实用新型是这样实现的：一种激光位移传感器检验校准装置，包括一可伸缩导轨、一微调装置、一传感器夹持装置、一激光位移传感器以及一激光红外线接收挡板；所述微调装置和传感器夹持装置设于所述可伸缩导轨的上端；所述激光位移传感器夹持在所述传感器夹持装置上，且使所述激光位移传感器的激光发射端朝向所述微调装置；所述激光红外线接收挡板与所述微调装置固接，且使所述激光红外线接收挡板的接收面朝向所述传感器夹持装置。合肥激光位移传感器设备生产它可以实时监测物体的位移变化，提供准确的数据支持。
在一个实施例中，激光位移传感器通过调整成像物镜6与感光元件7之间的距离，在空间频率为62.5lp/mm处，MTFS大于10倍的MTFT，其中，MTFS为量程内被测点在S方向的MTF值，MTFT为量程内被测点在T方向的MTF值，曲线1为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏离的MTFT值，曲线2为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏移的MTFS值；曲线3为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值；曲线4为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值；曲线5为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值；曲线6为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值(其中，在弧矢方向内，向光轴以里偏离为正，向光轴以外偏离为负)。在一具体实施例中，在空间频率为62.5lp/mm处，量程内被测点的MTFS≥0.5，MTFT＜0.05。类似地，在采用上述方式1的情况CN10685539 1B6下，同样可以保证成像物镜的MTFT和MTFS满足这些条件。
从图3所示的成像光学系统结构图可看出，在整个物面并不垂直于光轴时，经过系统成像以后得到的像面也不垂直于光轴，与光轴存在一定的夹角β，设计的lastβ优化值取为60.4628°，此时像面上可得到比较理想的光斑分布。在工作范围内不同视场的散射光均能很好地成像于探测器。在图4中可看到不同视场的成像光斑形状，此点列图表明成像光斑分布均匀，但还存在一定的剩余像差，主要为球差，光斑大小可见表2，光斑直径在20μm左右。同时根据设计结果可得像距为33.092mm，经计算tanα/tanβ=0.6137，di/do=0.6145，此物镜设计基本满足于Scheimpflug理想成像条件。激光技术的应用使得这种传感器具有高分辨率和高灵敏度，能够满足各种精密测量需求。
非接触式激光平面检测采用的是集光、机电一体化的测量设备系统，系统中的激光位移传感器是一种代替传统接触式测量的新型位移检测装置，具有分辨率高，线性度高和稳定性好等特点，可实现对对象物的高精度、高可靠性的测量。本文中定性检测试验较好地反映出对象物平面实际起伏情况，定量检测试验结果达到了仪器的理论精度为6μm范围内的要求。该系统能满足现代化生产和科学研究的需要，具有广阔的应用前景。创视智能技术创视智能技术激光位移传感器在半导体行业的应用案例。宁波激光位移传感器答疑解惑
这些传感器通常具有长寿命和较低的故障率，能够在恶劣的工作环境下正常运行。宝山区激光位移传感器制作厂家
根据本发明实施例的激光位移传感器主要包括激光器(例如，可以是CN1 06855391B5激光二极管)1、聚焦透镜2、窗口玻璃3、带通滤光片5、成像物镜(也可称为接收物镜)6、感光元件7以及反光元件8。其中，该激光位移传感器用于对被测物体4进行测量。在图1所示的结构中，省略了激光位移传感器的外壳。实际上，上述窗口玻璃3可以设置在激光位移传感器的外壳上，供激光器所发出的光通过。激光位移传感器的工作过程如下：由激光二极管1发射的激光束通过聚焦透镜2聚焦、窗口玻璃3滤光后，照射在被测物体4的表面形成一个测量光斑，激光束可以垂直入射到被测物体4表面(即垂直入射)，也可与被测物体4表面成一定的角度(即斜入射)。该测量光斑由成像物镜6成像，并在感光元件7形成测量信号。宝山区激光位移传感器制作厂家
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