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在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子弧矢向的情况下，成像物镜本身的MTFS＞MTFT、或者在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，成像物镜本身的MTFT＞MTFS，使得解析结果满足条件；和/或在成像物镜前和/或在成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件，并且配合微调所述成像物镜与所述感光元件之间的相对距离使得解析结果满足条件。反光元件，反光元件设置在成像物镜的出射光路上，成像物镜的出射光经反光元件反射后，入射到感光元件。激光位移传感器在半导体行业的应用案例。安徽激光位移传感器零售价格
一种激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：包括一可伸缩导轨、一微调装置、一传感器夹持装置、一激光位移传感器以及一激光红外线接收挡板；所述微调装置和传感器夹持装置设于所述可伸缩导轨的上端；所述激光位移传感器夹持在所述传感器夹持装置上，且使所述激光位移传感器的激光发射端朝向所述微调装置；所述激光红外线接收挡板与所述微调装置固接，且使所述激光红外线接收挡板的接收面朝向所述传感器夹持装置。啊啊啊啊啊啊啊安徽激光位移传感器零售价格这种传感器具有较高的稳定性和可靠性，能够长时间稳定地工作。
在采用方式2的情况下，可以在成像物镜前或成像物镜6后加入能够引入像散的光学元器件(如平板玻璃)，配合调整成像物镜6与感光元件7之间的距离时，可以在微米量级进行调整。每次调整后，可以进行MTF解析，在判断解析结果满足上述条件时，停止调节。如果调整后发现解析结果不满足上述条件，则继续进行调整。此外，在图1所示的实施例中，反光元件8设置在接收物镜6和感光元件7之间，从而可以提高所述激光位移传感器的内部空间利用率，减小其外形尺寸。在所述激光位移传感器外形尺寸允许的情况下，反光元件8可省略。在测量光斑和成像物镜6之间的带通滤光片5被用来滤除或降低杂散光对测量系统的影响。
针对相关技术中的问题，本发明提出一种激光位移传感器，能够在不影响测量精度的情况下，降低成像物镜的设计难度，同时让测量系统能够更有效地应对振动、机械变形等不良影响。根据本发明，提供了一种激光位移传感器。根据本发明的激光位移传感器包括激光器、成像物镜以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物镜接收并出射的光入射到感光元件。其中，在对成像物镜和感光元件CN1 06855391B3进行调制传递函数MTF解析时，解析结果满足以下条件：[0011]在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS为弧矢方向上的MTF值，MTFT为子午方向上的MTF值。进一步地，在进行解析时，空间频率为62.5lp/mm，如果多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS＞MTFT×10；如果多个感光单元的主要排列方向为子午方向，则MTFT＞MTFS×10。[0015]可选地，空间频率为62.5lp/mm，如果多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS≥0.5，MTFT＜0.05；如果多个感光单元的主要排列方向为子午方向，则MTFT≥0.5，MTFS＜0.05。激光位移传感器在学术科研行业的应用案例。
图3a至图3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置为满足上述要求的情况下，被感光元件接收到的光斑的形状。图3a是被测物体在激光位移传感器的best小量程处的情况下，感光元件接收到的光斑的形状，OBJ：-2.1000mm，0.0000mm为物点在子午方向无偏离，在弧矢方向偏离-2.1mm，IMA：1.627，0.000mm为所成的像点在子午方向无偏离，在弧矢方向偏离1.627mm。图3b是被测物体在激光位移传感器的中间量程处的情况下，感光元件接收到的光斑的形状，OBJ：0.0000，0.0000mm为物点在弧矢方向无偏离，在子午方向无偏离，IMA：-0.243，0.000mm为所成的像点在子午方向无偏离，在弧矢方向偏离-0.243mm。图3c是被测物体在激光位移传感器的比较大量程处的情况下，感光元件接收到的光斑的形状，OBJ：2.1000，0.0000mm为物点在子午方向无偏离，光谱共焦位移传感器是一种高精度的光学测量仪器，能够实现非接触式的表面形貌测量。安徽激光位移传感器零售价格
非接触式位移传感器的出现推动了现有技术的适应，以满足新的测量要求并提高测量的准确性和分辨率。安徽激光位移传感器零售价格
如权利要求2所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述微调装置包括一蜗轮蜗杆机构、一电子测量仪以及一微调平台；所述微调平台设于所述电动伸缩双直线导轨上端的尾部，所述微调平台的末端向上设有一延伸部；所述蜗轮蜗杆机构设于所述微调平台的前端；所述电子测量仪的一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述蜗轮蜗杆机构。如权利要求3所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述蜗轮蜗杆机构包括一横向蜗杆、一蜗轮以及一位移调节把手；所述横向蜗杆的一端与所述激光红外线接收挡板的背面固接，另一端与所述电子测量仪抵接；所述位移调节把手与所述蜗轮的中心固接。安徽激光位移传感器零售价格
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