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郑州校验光谱共焦位移传感器 苏州创视智能技术供应

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***更新: 2024-06-24 00:26:56
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  • 苏州创视智能技术有限公司
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产品详细说明

上三棱镜上背向所述反光镜的一面设置为哑光面,探头壳体的末端固定设置有用于对光线进行色散聚焦的色散镜头,色散镜头包括有准直镜组和色散聚焦镜组,准直镜组设置在多色光光源的一侧,用于多色光源的准直;色散聚焦镜组设置在被测物体的一侧,用于将多色光分别聚焦,并产生轴向色散。光谱仪包括有机壳,固定设置在机壳中并位于接收光纤出光端的轴向上且用于对反射光进行色散的棱镜组,固定设置在所述棱镜组的出光端并用于对色散后的光进行聚焦的聚焦透镜组,感光元件设置在聚焦透镜组的出光端并用于接收聚焦后的多色光。它使用光谱共焦技术来测量物体的微小位移,能够达到亚微米级的高精度。郑州校验光谱共焦位移传感器

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Preferencyly,在本实施例中发光件设置有2个,在保证良好提示效果的前提下,采用更少的发光件以减少发热对探头的影响,发光件左右对称布置在光源耦合器中,通过卡扣和螺纹连接固定在光源耦合器中,导光光纤也设置有2个,分别通过插槽3400与发光件连接,两个导光光纤的出光端在探头壳体上呈左右对称设置,发光件发出的指示光能通过导光光纤的传导,从各个方向射出,使用者能从各个角度观察到探头工作情况。创视智能技术创视智能技术松江区光谱共焦位移传感器厂家现货光谱共焦技术可以消除光学系统的像差和色差等影响,提高测量精度。

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光谱共焦位移传感探头,光谱共焦位移传感探头固定连接在入射光纤的出光端,光谱共焦位移传感探头用于对入射光纤传导的多色光进行轴向色散后将不同波长的光分别聚焦,并对被测物体的反射光进行传导。接收光纤,所述接收光纤的入光端固定设置在所述光谱共焦位移传感探头内,所述接收光纤的入光端用于选择性的接收所述光谱共焦位移传感探头传导的被测物体的反射光; 光谱仪,所述光谱仪固定连接所述接收光纤的出光端,所述光谱仪带有感光元件并用于把被测物体的反射光进行色散聚焦到感光元件上且量化成光谱曲线。

本实施例中的光谱共焦位移传感探头具体包括有探头壳体,探头壳体与入射光纤和接收光纤固定连接,探头壳体优先采用圆柱形壳体,用于对探头内的光学元件进行安装和支撑且对结构进行保护,易于想到的是,探头壳体可设置为方形,多边形或其他特定形状。在探头壳体内固定设置有半透半反光学镜,半透半反光学镜位于所述入射光纤的出光端的正下方;半透半反光学镜对通过入射光纤传导后的多色光实现一半透射而一半反射,而当透射的光线经过被测物体反射形成反射光后照射到半透半反光学镜上,半透半反光学镜对反射光进行一半透射,一半反射;光谱共焦位移传感器具有非接触式测量的优势,可以在微观尺度下进行精确的位移测量。

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根据权利要求2所述的光谱共焦传感器,其中,所述预定基准轴与在使所述测量光从所述分光器的虚拟光入射口入射至所述光学系统的情况下的光轴相对应。根据权利要求2或3所述的光谱共焦传感器,其中,所述多个光入射口被设置成从所述多个光入射口入射的所述多个测量光束各自的光轴变得与所述预定基准轴大致平行。根据权利要求2至4中任一项所述的光谱共焦传感器,其中,所述多个光入射口设置在相对于所述预定基准轴相互对称的位置处。根据权利要求3所述的光谱共焦传感器,其中,所述多个光入射口设置在相对于所述虚拟光入射口相互对称的位置处。根据权利要求2至6中任一项所述的光谱共焦传感器,其中,所述多个光入射口沿着与所述线传感器的线方向相对应的预定方向设置。该传感器适用于高分辨率成像系统,如光学显微镜和扫描电子显微镜中的位移测量。盐城光谱共焦位移传感器找哪家

该传感器可以用于微纳加工、生物医学、半导体制造等领域的精密测量。郑州校验光谱共焦位移传感器

线传感器可以是在使用预定基准轴作为基准的情况下布置的。在这种情况下,光学系统可以是在使用预定基准轴作为基准的情况下配置的,并且光学系统可以包括多个测量光束入射的多个光入射口,其中 多个光入射口在使用 预定基准轴作为基准的情况下设置在不同位置处。通过以这种方式在使用预定基准轴作为基准的情况下在布置线传感器的同时配置光学系统,可以向线传感器的不同受光区域射出相应的测量光。特别地,通过使用该基准轴作为基准来在不同位置处设置多个光入射口,可以容易将各测量光射出至多个受光区域。 预定基准轴可以与在使 测量光从 分光器的虚拟光入射口入射至 光学系统的情况下的光轴相对应。通过在使用测量光从虚拟光入射口入射的情况下的光轴作为基准的情况下在布置线传感器的同时配置光学系统,可以将从多个光入射口入射的测量光分别射出至线传感器的多个受光区域。郑州校验光谱共焦位移传感器

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