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    其中该边框结构区域依序包含***边结构区域、第二边结构区域、第三边结构区域与第四边结构区域，该***边结构区域与该第三边结构区域的宽度相同。在一实施例中，为了让基板结构所承载的半导体组件的设计更加简化，其中该***边结构区域、该第二边结构区域、该第三边结构区域与该第四边结构区域的宽度相同。在一实施例中，为了让基板结构适应所承载的半导体组件的不同设计，其中该边框结构区域依序包含***边结构区域、第二边结构区域、第三边结构区域与第四边结构区域，该***边结构区域与该第三边结构区域的宽度不同。在一实施例中，为了让基板结构适应所承载的半导体组件的具有更大的设计弹性，其中该***边结构区域、该第二边结构区域、该第三边结构区域与该第四边结构区域的宽度均不相同。在一实施例中，为了配合大多数矩形芯片的形状，其中该中心凹陷区域是矩形。在一实施例中，为了配合大多数方形芯片的形状，广州半导体晶圆服务至上，其中该中心凹陷区域是方形，广州半导体晶圆服务至上。在一实施例中，广州半导体晶圆服务至上，为了让基板区域的电阻值降低，其中该晶圆层包含与该第二表面相对应的一***表面，在进行该蚀刻步骤之后，在该边框结构区域的该***表面至该第二表面的距离。半导体晶圆研磨技术？广州半导体晶圆服务至上

    如图28c所示。电压衰减电路26090的衰减率的设置范围在5-100之间，推荐20。电压衰减可以用如下公式表达：vout＝(r2/r1)*vin假设r1＝200k,r2＝r3＝r4＝10k,vout＝(r2/r1)*vin＝vin/20其中，vout是电压衰减电路26090输出的振幅值，vin是电压衰减电路26090输入的振幅值，r1、r2、r3、r4是两个运算放大器28102及28104的电阻。图29a至图29c揭示了根据本发明的一个实施例的如图26所示的整形电路26092的示例。参考图26所示，电压衰减电路26090的输出端连接整形电路26092。电压衰减电路26090输出的波形输入到整形电路26092，整形电路26092将电压衰减电路26090输出的正弦波转化为方波以便主控制器26094处理。如图29a所示，整形电路26092包括窗口比较器29102及或门29104。当vcal-图30a至图30c揭示了根据本发明的一个实施例的如图26及图27所示的主控制器26094的示例。如图30a所示，主控制器26094包括脉冲转换模块30102和周期测量模块30104。脉冲转换模块30102用来将τ1时间的脉冲信号转换为高电平信号，τ2时间的低电平信号保持不变，如图30b-30c所示。图30a示意了脉冲转换模块30102的电路符号，其中，clk_sys为50mhz时钟信号，pulse_in为输入信号，pulse_out为输出信号。广州半导体晶圆服务至上国外哪个国家的半导体晶圆产品好？

    功率为p1时检测到的通电时间和预设时间τ1进行比较，如果检测到的通电时间比预设时间τ1长，检测电路发送报警信号到主机，主机接收到报警信号则关闭超声波或兆声波电源；检测电路还比较检测到的断电时间和预设时间τ2，如果检测到的断电时间比预设时间τ2短，检测电路发送报警信号到主机，主机接收到报警信号则关闭超声波或兆声波电源。在一个实施例中，超声波或兆声波装置与喷头相结合并置于半导体基板附近，超声波或兆声波装置的能量通过喷头喷出的液柱传递到半导体基板。本发明提供了另一种使用超声波或兆声波清洗半导体基板的装置，包括卡盘、超声波或兆声波装置、至少一个喷头、超声波或兆声波电源、主机和检测电路。卡盘支撑半导体基板。超声波或兆声波装置置于半导体基板附近。至少一个喷头向半导体基板和半导体基板与超声波或兆声波装置之间的空隙中喷洒化学液体。主机设置超声波或兆声波电源以频率f1、功率p1驱动超声波或兆声波装置，在液体中的气泡气穴振荡损伤半导体基板上的图案结构之前，将超声波或兆声波电源的输出设为零，待气泡内的温度下降到设定温度后，再次设置超声波或兆声波电源的频率为f1，功率为p1。

    因此需要更长的时间τ1。通过缩短时间τ2来提高气泡的温度。通常，在本发明的晶圆清洗工艺中所应用的的超声波或兆声波的频率在。图23揭示了根据本发明的一实施例的用于执行图7至图22所示的晶圆清洗工艺的一示范性的晶圆清洗装置。该晶圆清洗装置包括用于承载晶圆23010的晶圆卡盘23014，在清洗过程中由旋转驱动装置23016驱动晶圆卡盘23014带着晶圆23010一起旋转。该晶圆清洗装置还包括喷头23064，用于输送如清洗化学液或去离子水23060等清洗液至晶圆23010。与喷头23064相结合的超声波或兆声波装置23062用于传递超声波能或兆声波能至清洗液。由超声波或兆声波装置23062产生的超声波或兆声波通过由喷头23064喷出的清洗液23060传递至晶圆23010。图24揭示了根据本发明的用于执行图7至图22所示的晶圆清洗工艺的另一实施例的晶圆清洗装置的剖视图。该晶圆清洗装置包括容纳清洗液24070的清洗槽24074，用于装载多片晶圆24010的晶圆盒24076，该多片晶圆24010浸没在清洗液24070中。该晶圆清洗装置进一步包括设置在清洗槽24074的壁上的超声波或兆声波装置24072，用于传递超声波能或兆声波能至清洗液。至少有一个入口(图中未显示)用于使清洗槽24074充满清洗液24070，因此。半导体晶圆厂家供应。

    上述步骤7210至7240可以重复操作以此来缩小内爆时间τi的范围。在知道内爆时间τi后，τ1可以在安全系数下设置为小于τi的值。以下段落用于叙述本实验的一实例。假设图案结构为55nm的多晶硅栅线，超声波的频率为1mhz，使用prosys制造的超声波或兆声波装置，采用间隙振荡模式(在pct/cn2008/073471中披露)操作以在晶圆内和晶圆间获得更均匀能量分布。以下表2总结了其他试验参数以及**终的图案损伤数据：表2在一个试验中，当τ1＝2ms(或周期数为2000)时，前面提到的声波清洗工艺在55nm的特征尺寸下，对图案结构造成的损伤高达1216个点。当τ1＝(或周期数为100)时，声波清洗工艺对相同的图案结构造成的损伤为0。所以τi为。通过缩小τ1的范围来做更多的试验可进一步缩小τi的范围。在上述实验中，周期数取决于超声波或兆声波的功率密度和频率。功率密度越大，则周期数越小；频率越低，则周期数越小。从以上实验结果可以预测出无损伤的周期数应该小于2000，假设超声波或兆声波的功率密度大于，频率小于或等于1mhz。如果频率增大到大于1mhz或功率密度小于，那么可以预测周期数将会增加。知道时间τ1后，τ2也可以基于与上述相似的doe方法来获得。确定时间τ1。半导体晶圆推荐货源.?上海企业半导体晶圆

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    声压pm朝膨胀方向拉伸气泡，如图5c所示。因此，负的声压pm也对周围的液体做部分功。由于共同作用的结果，气泡内的热能不能全部释放或转化为机械能，因此，气泡内的气体温度不能降低到**初的气体温度t0或液体温度。如图6b所示，气穴振荡的***周期完成后，气泡内的气体温度t2将在t0和t1之间。t2可以表达如下：t2＝t1-δt＝t0+δt-δt(5)其中，δt是气泡膨胀一次后的温度减量，δt小于δt。当气穴振荡的第二周期达到**小气泡尺寸时，气泡内的气体或蒸汽的温度t3为：t3＝t2+δt＝t0+δt-δt+δt＝t0+2δt-δt(6)当气穴振荡的第二周期完成后，气泡内的气体或蒸汽的温度t4为：t4＝t3-δt＝t0+2δt-δt-δt＝t0+2δt-2δt(7)同理，当气穴振荡的第n个周期达到**小气泡尺寸时，气泡内的气体或蒸汽的温度t2n-1为：t2n-1＝t0+nδt–(n-1)δt(8)当气穴振荡的第n个周期完成后，气泡内的气体或蒸汽的温度t2n为：t2n＝t0+nδt-nδt＝t0+n(δt-δt)(9)根据公式(8)，内爆的周期数ni可以表达如下：ni＝(ti-t0-δt)/(δt–δt)+1(10)根据公式(10)，内爆时间τi可以表达如下：τi＝nit1＝t1((ti-t0-δt)/(δt–δt)+1)＝ni/f1＝((ti-t0-δt)/(δt–δt)+1)/f1(11)其中，t1为循环周期。广州半导体晶圆服务至上

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