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    大于或等于在该中心凹陷区域的该***表面至该第二表面的距离的两倍。在一实施例中，为了让基板区域的电阻值降低，其中在该蚀刻步骤进行一部份后，再将该屏蔽层覆盖到该***内框结构区域，使得该边框结构区域的该***表面至该第二表面的距离，大于或等于在该***内框结构区域的该***表面至该第二表面的距离。在一实施例中，为了让基板区域的电阻值降低，其中在该蚀刻步骤进行一部份后，再将该屏蔽层覆盖到该第二内框结构区域，使得在该边框结构区域的该***表面至该第二表面的距离，大于或等于在该第二内框结构区域的该***表面至该第二表面的距离。在一实施例中，为了尽可能地利用晶圆的面积来制作不同芯片，其中该多个芯片区域包含一第二芯片区域，该***芯片区域与该第二芯片区域的形状不同。在一实施例中，为了使用晶圆级芯片制造技术来加速具有上述基板结构的芯片制作，遂宁半导体晶圆商家，其中该多个芯片区域当中的每一个芯片区域和该***芯片区域的形状都相同。在一实施例中，遂宁半导体晶圆商家，为了节省金属层的厚度以便节省成本，其中该金属层具有相对应的一第三表面与一第四表面，遂宁半导体晶圆商家，该第三表面完全贴合于该第二表面，其中该第四表面具有向该第三表面凹陷的一金属层凹陷区域。半导体晶圆厂家供应。遂宁半导体晶圆商家

    只要该半导体组件层130所包含的半导体元器件需要藉由该晶圆层320与该金属层310传递电流，都可以适用于本申请。该晶圆层320包含彼此相对的一***表面321与一第二表面322，该***表面321与上述的半导体组件层130相接。该第二表面322与该金属层310相接或相贴。从图3可以看到，该***表面321与第二表面322的**大距离，出现在该结构300的边缘处。在一实施例中，该***表面321与第二表面322的**小距离，出现在该结构300的中心处。在另一实施例中，该***表面321与第二表面322的**小距离，出现在该半导体组件层130的器件投影在该***表面321的地方。在一实施例当中，当该结构300属于一薄型化芯片时，该***表面321与第二表面322的**大距离，或者说是该晶圆层320的厚度，可以小于75um。在另外的一个实施例当中，该***表面321与第二表面322的**大距离，或者说是该晶圆层320的厚度，可以是介于100~150um之间。在额外的一些实施例当中，该***表面321与第二表面322的**大距离，或者说是该晶圆层320的厚度，可以是介于75~125um之间。但本领域普通技术人员可以理解到，本申请并未限定该晶圆层320的厚度。和传统的晶圆层120相比。汕头半导体晶圆欢迎咨询半导体晶圆服务电话？

    图32a至图32c揭示了根据本发明的一个实施例的如图27所示的振幅检测电路27092的示例。该振幅检测电路27092示例性包括参考电压生成电路和比较电路。如图32b所示，参考电压生成电路使用d/a转换器32118将主控制器26094的数字输入信号转换为模拟直流参考电压vref+和vref-，如图32c所示。比较电路使用窗口比较器32114及与门32116来比较电压衰减电路26090输出的振幅vin和参考电压vref+和vref-。如果衰减后的振幅vin超过参考电压vref+和/或vref-，那么振幅检测电路27092发送报警信号到主机25080，主机25080接收到报警信号则关闭声波发生器25082来避免对晶圆1010上的图案结构造成损伤。图33揭示了根据本发明的一个实施例的晶圆清洗工艺的流程图。该晶圆清洗工艺从步骤33010开始，首先将清洗液施加至晶圆和超声波或兆声波装置之间的间隙中。在步骤33020中，设置超声波或兆声波电源的频率为f1，功率为p1以驱动超声波或兆声波装置。在步骤33030中，将检测到的通电时间与预设时间τ1进行比较，如果检测到的通电时间长于预设时间τ1，则关闭超声波或兆声波电源并发出报警信号。在步骤33040中，在清洗液中的气泡气穴振荡损伤晶圆上的图案结构之前设置超声波或兆声波电源输出为零。

    通过通信电缆25088发送比较结果到主机25080。如果声波发生器25082的输出值与主机25080发送的参数设定值不同，则检测电路25086将发送报警信号到主机25080。主机25080接收到报警信号后关闭声波发生器25082来阻止对晶圆1010上的图案结构的损伤。图26揭示了根据本发明的一个实施例的图25所示的检测电路25086的框图。该检测电路25086示范性包括电压衰减电路26090、整形电路26092、主控制器26094、通信电路26096及电源电路26098。主控制器26094可以用fpga实现。通信电路26096作为主机25080的接口。通信电路26096与主机25080实现rs232/rs485串行通信来从主机25080读取参数设置，并将比较结果返回主机25080。电源电路26098将直流15v转换成直流、直流。图27揭示了根据本发明的另一个实施例的检测电路25086的框图。该检测电路25086示范性包括电压衰减电路26090、振幅检测电路27092、主控制器26094、通信电路26096及电源电路26098。图28a至图28c揭示了根据本发明的一个实施例的电压衰减电路的示例。当声波发生器25082输出的声波信号***被读取时，该声波信号具有相对较高的振幅值，如图28b所示。电压衰减电路26090被设计成使用两个运算放大器28102和28104来减小波形的振幅值。半导体制程重要辅助设备。

    所述有机胺为二乙烯三胺、五甲基二乙烯三胺、多乙烯多胺、乙胺、二乙胺、三乙胺、三丙胺，N，N-二甲基乙醇胺、N，N-甲基乙基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺和三乙醇胺一种或多种。所述有机羧酸选自丙二酸、草酸、乙二胺四乙酸盐和柠檬酸中的一种或者多种。所述胍类为四甲基胍、碳酸胍、醋酸胍、3-胍基丙酸、聚六亚甲基胍和对胍基苯甲酸。所述清洗液的pH值为2～5。实施例3一种用于半导体晶圆等离子蚀刻残留物的清洗液，其是由如下重量份数的原料组成：有机溶剂48份、氟化物12份、氯化物11份、甲基丙烯酸甲酯6份、有机胺7份、氨基酸14份、胍类15份、苯并三氮唑5份、有机羧酸19份、硫脲23份和水64份。所述有机溶剂为选自亚砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醚中的一种或多种。所述氟化物为氟化氢、或氟化氢与碱形成的盐。所述有机胺为二乙烯三胺、五甲基二乙烯三胺、多乙烯多胺、乙胺、二乙胺、三乙胺、三丙胺，N，N-二甲基乙醇胺、N，N-甲基乙基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺和三乙醇胺一种或多种。所述有机羧酸选自丙二酸、草酸、乙二胺四乙酸盐和柠檬酸中的一种或者多种。所述胍类为四甲基胍、碳酸胍、醋酸胍、3-胍基丙酸、聚六亚甲基胍和对胍基苯甲酸。半导体晶圆推荐咨询??东莞半导体晶圆市价

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    目的是使得气泡内气体和/或蒸汽的温度降至接近室温t0。图12a-12b揭示了根据本发明的另一个实施例的声波晶圆清洗工艺。本实施例的声波晶圆清洗工艺与图10a-10c所示的实施例的差异*在步骤10050。在本实施例的声波晶圆清洗工艺中，在时间段τ2内，电源的频率增至f2，功率水平p2基本上等于功率水平p1。图13a-13b揭示了根据本发明的另一个实施例的声波晶圆清洗工艺。本实施例的声波晶圆清洗工艺与图10a-10c所示的实施例的差异*在步骤10050。在本实施例的声波晶圆清洗工艺中，在时间段τ2内，电源的频率增至f2，功率水平从p1降至p2。图14a-14b揭示了根据本发明的另一个实施例的声波晶圆清洗工艺。本实施例的声波晶圆清洗工艺与图10a-10c所示的实施例的差异*在步骤10050。在本实施例的声波晶圆清洗工艺中，在时间段τ2内，电源的频率从f1增至f2，功率水平从p1增至p2。由于频率f2高于频率f1，因此，声波能量对气泡的加热不那么强烈，功率水平p2可略高于功率水平p1，但是不能太高，以确保在时间段τ2内，气泡内气体和/或蒸汽的温度降低，如图14b所示。图15a至图15c揭示了在声波清洗晶圆的过程中，稳定的气穴振荡损伤晶圆上的图案结构。参考图15a所示。遂宁半导体晶圆商家

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