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20世纪90年代,微针由硅制成。硅具有晶体结构，硅的湿法腐蚀是各向异性。其性质取决于晶格中的排列,显示出不同的弹性模量。物理特性使硅成为一种通用材料。硅衬底可以精确制造,且能批量生产,因此可以生产不同尺寸和形状的微针。但硅的成本及其耗时复杂的制造工艺限制了硅在微针中的应用。此外,还有一些生物相容性问题，上海实心微针价格,因为硅很脆,可能会一部分断裂并留在皮肤中,从而导致出现健康问题，上海实心微针价格，上海实心微针价格。为了改善硅微针的脆性、提高微针的生物相容性,可以用溅射方法在其表面沉积一层金属膜。基于MEMS微针的微系统会在医学领域获得广泛应用。上海实心微针价格
一种新型的给药技术是透皮给药技术，透皮给药技术是指在皮肤表面给药，使药物以接近恒定速度通过皮肤各层，经血管吸收进入体循环产生全身或局部作用的制剂，该类制剂通常称为透皮贴剂.在原理上来讲透皮给药与皮下注射或静脉输入给药是同一种投药的方法。透皮给药应用于治皮肤局部或全身疾病，比其他方式具有更加安全、稳定和病人适应性好的优点。其中被动透皮给药技术是以单纯的浓度梯度为驱动力使药物扩散透过皮肤进入血流产生药效。江苏MEMS微针生产微针给药的概念早在上世纪70年代初就已经被提出。
硅材料具有良好的机电、传感特性, 资源丰富,且硅微细加工技术已成熟, 所以硅微针受到人们的格外青睐。硅微针主要利用各向同性和各向异性刻蚀工艺来制备,刻蚀过程的控制一直是一个难点。N. Wilke 利用计算机软件对刻蚀进行了模拟, 优化了微针制作工艺。Takay uki Shibata利用深层反应离子刻蚀的冲孔效应制作出了顶部为半球形的空心SiO2微针阵列，利用硅材料来制备微针, 可充分发挥硅微加工工艺成熟的优势, 然而硅微针所存在的易断裂而滞留于皮肤导致的工作有效性与安全性不高的问题, 直接影响了硅材料在微针上的应用。
除了硅、金属以及聚合物等材料之外, 还有很多材料也可用于微针的制备,如陶瓷、玻璃和智能纳米材料等。陶瓷微针是以陶瓷浆料为原料，利用模板铸造，使用烧结法制备,也可以采用双光子聚合法制备。玻璃微针多为空心结构,采用改良后的传统玻璃微管拉制技术制得,在给药和组织液提取方面都有着广泛的应用。但与陶瓷或玻璃等材料相比,利用高分子材料制备的微针具有很多优势,如生物相容性好、原料易得、不易断裂以及适宜批量化生产,因此聚合物微针逐渐成为微针制造的主材料。微针阵列经过多年的摸索，其工艺逐渐趋于成熟。
用于经皮给药的微针有两种，一种是实心微针，一种是空心微针。实心微针是通过处理将药物附着在微针表面达到药物递送的目的，空心微针则是将药物通过微通道注入皮肤的方式来输送药物。目前研究的微针给药主要有以下几种方式 ：1）先将微针阵列刺入角质层，在皮肤中形成微孔洞之后将其拔出，然后把含有药物的贴剂贴敷在有孔的皮肤上达到输送药物的目的；2）包囊药物微针给药，其中微针阵列是利用可以生物降解的材料制作而成；3）微针包衣给药，首先在实心微针体表面包裹一层药物，再将微针刺入皮肤实现持续给药，用以增加药物的渗透性；4）微注射方式经皮给药，一般选择空心微针阵列来实现。生物医学推动了微针在药物传输等领域的应用。浙江空心微针价格
可溶性微针是利用模具将药物制作成针尖。上海实心微针价格
目前，文献中报道较多的干电极的制作材料主要包括：单晶硅、金属（钛、镍、不锈钢）、 高分子聚合物和玻璃等。有人在单晶硅片上采用深反应离子刻蚀技术工艺制备了高度较高的实心微针阵列。有人在钛薄板上利用微加工工艺制备了钛微针用于经皮给药系统的研究。有人利用深曝光的方法制备了甲基丙稀酸甲酯（PMMA）微针用于脑机接口系统。虽然干电极的制作材料多种多样，其基材的选择主要考虑以下几个因素：1）材料的生物相容性；2）微针阵列的机械强度；3）材料加工工艺的复杂度及工艺成本。上海实心微针价格
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