安徽金叉指电极 芯云纳米技术供应

为保证叉指电极的良率和性能，所有工艺步骤均在超净间内完成，采用剥离工艺进行电极制作。首先，利用热氧化生长500 nm 二氧化硅硅片以确保衬底的绝缘性，安徽金叉指电极。将硅片用乙醇、超纯水超声清洗，并氮吹干燥保证表面洁净，安徽金叉指电极。然后旋涂光刻胶，前烘后进行光刻，其中不同尺寸的叉指电极选用不同尺寸的掩膜版。在光刻，安徽金叉指电极、显影将电极图形转移至二氧化硅衬底后，用氧等离子体刻蚀去除残胶。然后电子束蒸发沉积一层 10nm/70nm 的Cr/Au，其中Cr为金电极的黏附层。依次在乙醇、超纯水中进行超声清洗，完成剥离后切片即得到叉指电极传感器。硅基生物叉指电极已成研究热点。安徽金叉指电极

蒸镀和溅射等方法在薄膜电极制备领域中具有精度高和洁净度好等优势。利用蒸镀和溅射方法将电极搭载于柔性印刷电路板（FPC）上直接与外部检测体系相连。微型三电极系统由金电极(工作电极)、铂电极(对电极)与 Ag/AgCI电极(参比电极)组成，单个电极尺寸为0.5 mm x0.7 mm,单次检测所需样品量约10 ~20 L。当三电极外接检测电路后,可通过多步电位法和计时电流法,无酶、快速、定量地检测人工汗液(pH=4.7)中的葡萄糖浓度线性检测范围为50~500 umol/L检出限为20 umol/L。山东硅叉指电极叉指电极导电层为金属层，采用物理方法制备，包括蒸镀、磁控溅射、丝网印刷、喷墨打印。

柔性衬底电极主要采用丝网印刷工艺进行制备，再经低温固化即得成品，用于采集生物电信号的传感器。目前常使用的柔性基底材料主要有聚二甲基硅氧烷(PDMS)，聚对苯二甲酸乙二醇(PET)，聚亚胺(PI)，聚丙烯(PP) 或聚氨基甲酸醋(PU) 等。影响柔性衬底电极性能的因素主要有电极浆料的配比,导电聚合物的组成，电极结构的设计，低温固化的温度及时间等。具有设计灵活、小巧轻便、结构简单、制备简便，成本低廉等优点。低温固化型银浆一般是由片状银粉、球状银粉（含量较少，一般为控制滑移添加保障电学性能）、有机溶剂（稀释剂）、树脂（一般为环氧树脂）、固化剂以及部分助剂组成。

三电极体系是指工作电极、对电极和参比电极均在微电极芯片上制备。工作电极采用金电极作为基底电极,参比电极可采用丝网印刷或银膜氯化的方法制备全固态微型银/氯化银电极，对电极则为片上铂电极。溶液中的葡萄糖被电极表面固化的酶还原产生过氧化氢，对工作电极施加电压，电离过氧化氢产生氢离子，促进电流从工作电极流出。此时电流大小与电离产生的电子量成正相关，反应速率决定电流大小从而得到血糖浓度。控制回路由 WE 和 RE 组成，维持施加在工作电极上的电压恒定，且回路中不包含极化电流，不影响极化状态和系统的稳定性。容性生物电极的一个很大的优势便是能够借助介电层的隔离保护作用，避免漏电流存在而造成触电损害。

无创检测具有不侵入人体、不造成创伤的优点，目的在于不对使用者造成创伤的前提下，通过传感器间接的检测相关生理特征和生化参数，因此无创检测方法也称为间接测量。虽有现在有多种关于无创血糖检测技术被提出并验证，但是无创测量方法通常需要通过多参数测量的推算，建立数学模型等间接反映出血糖浓度，测量结果普遍逊色于需要侵入的有创测量精度。由于面临不可避免的强外部干扰、个体差异较大等客观问题，导致测量数据不稳定，准确性不高。微电极具有微创、无痛或微痛、成本低、和操作简易、可降解的特点。湖南叉指电极技术

借助微纳米加工技术，可根据功能要求设计并制备出具有良好性能的微纳米化结构、器件和装置。安徽金叉指电极

叉指电极修饰可以提升传感器的灵敏度，且电极本身不具备特异性检测功能，需要对电极进行修饰敏感膜来获得特异性检测的功能。敏感膜是生物化学传感器的重要组成部分。生物敏感膜是使用有生物活性的材料作为敏感膜，需要将生物活性材料固定到微电极的工作电极上,它的固定是一项关键技术。生物敏感膜包括酶、微生物、免疫蛋白、DNA 单链等。根据不同的生物功能物质，有五大类方法:物理或化学吸附法、凝胶包埋法、共价键固定法、交联法以及分子自组装固定法。其中自组装单层膜简称自组装膜，为目前研究较多，对固体表面进行修饰为有效的分子有序组装体系。安徽金叉指电极

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