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使用微加工制备硅空心微针的技术已非常成熟,适合大规模生产。Nanopass公司制备了具有三种金字塔形状的单晶硅空心微针,针长为0，上海高晶微针研发合作.6mm，上海高晶微针研发合作,很容易进行皮内注射。Debiotech 公司使用深层离子蚀刻和湿法蚀刻技术制备具有侧开口的硅空心微针,从而将药物输送到人的真皮层,并降低了堵塞注射通道的风险。俞骁为了解决中空微针难以大规模生产且强度低的问题,采用各向异性蚀刻法制备了单晶硅异平面中空微针。该工艺简单易行,所得微针强度更大，上海高晶微针研发合作,中空硅微针表面的金属涂层或二氧化硅层涂层可以提高其生物相容性。随着研究的深入，新型的微针也陆续被开发出来。上海高晶微针研发合作
通常情况来看,固体实心微针的优势在于可以刺穿细胞膜,增加皮肤的渗透性,以此来达到将疫苗释放、渗透、传输至血液或细胞中的目的。到目前为止,在市面上常见的固体微针大多数是由硅材料和金属材料制作而成。虽然金属微针力学强度较好,但是由于这种材料的自身生物相容性比较差,如果在使用过程中不小心折断,残留在皮肤里,就会使人体皮肤产生的损伤。由聚合物制成的微针则与常规的固体微针不同,它不仅具有足够的力学强度来刺穿人体皮肤角质层,同时还拥有优越的生物相容性。浙江低晶微针研发利用3D打印技术也可以制作微针。
除了硅、金属以及聚合物等材料之外, 还有很多材料也可用于微针的制备,如陶瓷、玻璃和智能纳米材料等。陶瓷微针是以陶瓷浆料为原料，利用模板铸造，使用烧结法制备,也可以采用双光子聚合法制备。玻璃微针多为空心结构,采用改良后的传统玻璃微管拉制技术制得,在给药和组织液提取方面都有着广泛的应用。但与陶瓷或玻璃等材料相比,利用高分子材料制备的微针具有很多优势,如生物相容性好、原料易得、不易断裂以及适宜批量化生产,因此聚合物微针逐渐成为微针制造的主材料。
首批微针是用硅加工工艺制备的，但是其他的材料如不锈钢、玻璃、陶瓷、麦芽糖、半乳糖和各种聚合物等也可以用来加工制备微针。在过去的几年里，研究人员用了大量的方法来制备各种各样的微针，包括传统的微电子制造工艺如化学各向同性刻蚀、注模、反应离子刻蚀、表面处理技术、多晶硅微铸造、光刻-电铸-复制技术和激光束钻孔。除此之外微针的制备还有着不同的设计以及不同的类型，两种基本的设计是同平面微针和异平面微针。当然也有同平面和异平面的相结合的微针。同平面微针的设计中，微针平行于微加工表面，而在异平面微针设计中微针垂直于微加工表面。微针的主要材料包括硅、金属和可溶性聚合物。
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微针根据针高可以分成不同的产品。上海高晶微针研发合作
空心微针与微米级的注射针较为相似,一样是输送液体成分至皮内。蒋宏民探索出了一种利用MEMS技术结合传统光刻和倾斜旋制备环氧树脂中空微针阵列的方法。首先,把玻璃基片旋涂上SU8胶,将基片倾斜,在倾斜的基片和掩模版上设置微针的顶角，角度为基片和掩模版倾斜角度的二倍,进行紫外光旋转曝光;第二步,将基片和掩模版经热烘处理,在基片表面上旋涂第二层SU8光刻胶,再次经热烘处理后进行旋转曝光,经第三次热烘处理后,显影得到SU8胶凹锥结构层;第三步,在SU8胶凹锥结构层上制备下模层,在下模层上溅射,制得铬铜复合金属层;第四步,在铬铜复合金属层上采用与第三步相同的方式制备上模层,即可得到完整的空心微针阵列模具。环氧树脂填充入空心微针阵列模具中,经真空固化后再进行打磨处理,然后脱模,就可得到由环氧树脂制成的空心微针阵列。上海高晶微针研发合作
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