山东PET叉指电极 芯云纳米技术供应

蒸镀和溅射等方法在薄膜电极制备领域中具有精度高和洁净度好等优势。利用蒸镀和溅射方法将电极搭载于柔性印刷电路板（FPC）上直接与外部检测体系相连。微型三电极系统由金电极(工作电极)、铂电极(对电极)与 Ag/AgCI电极(参比电极)组成，单个电极尺寸为0.5 mm x0.7 mm,单次检测所需样品量约10 ~20 L，山东PET叉指电极。当三电极外接检测电路后,可通过多步电位法和计时电流法，山东PET叉指电极,无酶、快速、定量地检测人工汗液(pH=4，山东PET叉指电极.7)中的葡萄糖浓度线性检测范围为50~500 umol/L检出限为20 umol/L。叉指电极是实现电子皮肤的重要部分。山东PET叉指电极

三电极体系需要配备一种可以实现控制参比电极的电路，维持施加在工作电极上的电压恒定，以保证三电极始终工作在稳定状态下。为防止采集到的电化学原始信号受到工频信号以及电极表面附着的离子等其他干扰因素的影响，需要对采样信号进行滤波处理，通过 IV 转换电路将微弱的电流信号放大并转换成电压信号供 ADC 模块读取，同时通过补偿模块检测对系统产生的干扰因素。经过 MCU 内部的数据处理滤波与校准得出更加准确的血糖浓度，通过蓝牙通信模块将实时记录的血糖浓度传输至设备端，记录下血糖浓度变化曲线。湖南叉指电极技术生物传感器是一种以生物活性单元为敏感元件, 结合化学、物理转换元件。

溅射或蒸发工艺后的金属层表面光滑，微米尺寸的电极具有较大的基线噪声和波动，因此增加电极的比面积可以增加电极和溶液的有效接触面积，从而来降低电极的阻抗和噪声。通常所采用的电极表面修饰材料有: TiN、Ir、铂黑碳纳米管等，在修饰到裸金或铂电极上后，电极表面出现纳米结构，增加了电极表面的粗糙度。TiN 通过反应溅射法在氮气和氟气混合气体中粘附到金或铂电极上， TiN 具有规则的柱状纳米结构，表现出稳定的电学和机械特性，被采用在商业化生产的叉指电极上。相比之下，采用阴极氧化方法加工的Ir虽然具有较大的表面电荷负载，但是其电荷注入能力较差，不适合用于刺激电极，此外其电学特性不稳定，表面是现不规则的龟裂结构。出于铂黑采用恒电流或恒电压电镀方法修饰到电极表面，装置和电镀液成本较低，操作简单，较多采用。电镀铂黑后的电极表面出现棉絮状的纳米结构，比面积达到电极几何面积的 10~100 倍，在实验中具有较好的效果。然而相比TiN，电极表面的铂黑颗粒容易脱落，电极寿命较短。

为保证叉指电极的良率和性能，所有工艺步骤均在超净间内完成，采用剥离工艺进行电极制作。首先，利用热氧化生长500 nm 二氧化硅硅片以确保衬底的绝缘性。将硅片用乙醇、超纯水超声清洗，并氮吹干燥保证表面洁净。然后旋涂光刻胶，前烘后进行光刻，其中不同尺寸的叉指电极选用不同尺寸的掩膜版。在光刻、显影将电极图形转移至二氧化硅衬底后，用氧等离子体刻蚀去除残胶。然后电子束蒸发沉积一层 10nm/70nm 的Cr/Au，其中Cr为金电极的黏附层。依次在乙醇、超纯水中进行超声清洗，完成剥离后切片即得到叉指电极传感器。叉指电极导电材料的银是所有金属材料中导电性与导热性较好的材料。

高分子材料、单独的Si3N4、SiO2/Si3N4/SiO2的复合层常作为钝化层的可选材料。光刻胶和聚酷亚胺是光敏感的材料，能够在紫外光曝光下形成掩模板所设计的图形，以暴露金属电极位点。这些材料具有较低的介电常数(低于2.7)和良好的生物相容性。相比之下，高分子材料的钝化层厚达几微米，容易受到化学腐蚀，清洗的时候容易碎裂，减短芯片的寿命。硅化合物采用等离子增强型化学气相沉积(PECVD)方法沉积在已经形成电极,引线图形的金属层上，并采用刻蚀的方法将金属电极位点暴露。SiO2/Si3N4都具有绝缘特性，其介电常数分别为7.5 和3.9。在金属-氧化硅-硅的结构中SiO2不能有效地阻止离子的通过，因此较少单独用来做钝化层。SiO2/Si3N4/ SiO2的复合层结合了 Si02的绝缘性和Si3N4阻止离子通过的特性，是钟化层的较好的选择。单独的Si3N4则简化了加工的过程，但需加厚。在本实验工作中，采用单独的Si3N4钝化层，厚度为800-1000nm，能达到良好的绝缘作用。柔性生物电极通过对人体生物信号的监测能够及时反馈人体的身体健康状况从而在健康监测、疾病诊断与预警。河南三共面叉指电极

电化学叉指电极是一类以微生物作为识别元件的生物传感器。山东PET叉指电极

丝网印刷银/氯化银电极用作参比电极时，其性能一般通过电位稳定性、电位漂移率、使用寿命、水合期、保质期等来表征。此外由于银/氯化银电极还可用作生物医用电极，所以当丝网印刷银/氯化银电极用作医用电极时，接触阻抗、信噪比等也可对电极性能进行表征。电位稳定性是指其电位随时间的波动性，波动性越小稳定性越好，参比电极和医用电极的稳定性都直接影响着测量的准确性与可靠性。电极的漂移率指的是其电势在恒定条件下改变的速率，漂移率越低，电极性能越好。使用寿命是指银/氯化银电极在维持工作状态下的有效时间。使用寿命根据应用而存在不同，所需寿命通常可以在几分钟到一年的范围内。如在分析化学中所需电极是一次性的，则其使用寿命可能是几分钟，而对于某些需长期检测的应用而言，其使用寿命应至少几个月。山东PET叉指电极

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