浙江叉指电极 芯云纳米技术供应

在微加工工艺中，主要采取硅、玻璃和高分子材料作为基底。硅作为一种半导体材料，具有良好的导电性能，浙江叉指电极，作为叉指电极MEA基底时,需要在表面热生长一层SiO2,隔离金属层和硅基底之间的导电通路出于金属-氧化层-硅具有光电效应，对光敏感在检测中，光照在硅-SiO2 产生的光生电流能被金属电极输出到检测电路，增加信号的噪声幅度。在实验中发现，此噪声幅度可达几十到几百微伏，因此采用硅基底的 MEA 需要避光检测。相比于硅，玻璃具有良好的绝缘性、透光性和耐热性，具有成熟的加工工艺，在生物实验中便于采用倒置显微镜观察，被采用于 MEA 芯片的基底材料。为了降低成本，聚对二甲苯(Parylene)和聚酷亚胺 (Polyimide)也用来作为底材料。这些高分了材料具备良好的绝缘性，耐高温，灵活的可塑性，显示了良好的生物相容性，对细胞的活性没有明显的影响，浙江叉指电极。在本实验室的实践过程中，也尝试采用PCB板加工MEA芯片，然而工艺中电极精度受到限制，电极尺寸限于80um，浙江叉指电极，远远低于微加工工艺的芯片加工精度。柔性电子器件可以利用各种功能材料，通过力学与电子学的完美结合，实现柔性工作环境下的器件功能。浙江叉指电极

叉指电极双电层来源于界面电荷，产生在固-液界面，由于其特殊微观结构与性质决定了固-液界面的性能。通过双电层理论人们可以得到表面浓度、浓度分布、吸附层与基地之间的电容值及变化率等电化学反应参数。此外，双电层间还有界面电场，该电场的距离非常小因而有较大的电场强度，并且能够极大的改变电化学反应速度，甚至使某些条件下难以发生或进行的化学反应可以得以实现。电容产生于电解质和电极表面界面上的离子和分子之间的相互作用，并与电极面积间接成正比。双层电容对测量装置施加了限制，增加了低频的测量误差，通过优化微电极的设计，以降低界面阻抗，并在较低的频率范围内扩展微电极的有效频率探测范围，首先是消除界面现象的影响，然后提高微生物测量的灵敏度。福建陶瓷叉指电极柔性叉指电极基底通常为高分子材料,具有良好的延展性和灵敏度。

叉指电极制备方法包括四个步骤：(1)衬底清洗。首先需要对基片进行清洗,本工作中所用二氧化硅硅片在购得洁净硅片的基础上，再依次进行乙醇、去离子水的超声清洗。 (2) 光刻。光刻是一种将掩膜版上图形转移到衬底表面的技术，在大规模集成电路制造中有应用，其主要利用紫外光照射光刻胶使其化学性质改变，然后去除相应光刻胶，得到掩模版上的图形，进而作为后续工艺的掩模。(3) 薄膜沉积。主要包括物理方法和化学方法沉积。(4) 剥离(lift-of)。剥离是在衬底上进行薄膜沉积后，通过去除光刻胶的方法使附着在光刻胶上的金属脱附，直接沉积在衬底的金属被保留，形成电极图形。剥离工艺的优势是操作简单、成本低廉，而且去胶过程中不会对衬底产生刻蚀损伤。

基于生物电信号存在的测量难点，故对医用叉指生物电极的性能提出了相应的需求：1）由于生物电具有频率低甚至接近直流的特点，所以生物医用电极一般要求具有良好的导电性能；2）电极电位稳定，极化电位小，电位波动小；3）电极自身阻抗值小；4）不易产生运动伪迹；5）安放简易且不易脱落；6）无毒无害，对人体刺激小等。目前常用的电极包括有，标准氢电极、饱和甘汞电极、Cu/CuSO4 电极以及Pb/PbCl2 电极等，但它们自身的特性和缺陷以及应用范围不尽相同。柔性生物电极虽然具有很好的柔韧性、弹性、能与组织紧密贴合性、对组织伤害小等优点，但它的强度较低。

在各类生物传感器中，葡萄糖传感器在食品、医药和生物等领域均有应用。据资料显示，到2030年，全球糖尿病患者达到5.5亿。在诊断及*****的过程中，葡萄糖浓度检测是必不可少的。现在检测葡萄糖浓度的方法主要有比色法、荧光法、色谱法和电化学法等，其中电化学法以便捷、操作简单、价格低廉等优势成为重要检测手段。电化学法一般采用的为叉指电极或三电极系列作为检测信号和电信号传输的工具，若采用体内葡糖糖检测，则需要采用柔性电极。叉指电极将生物检测具有的特异性与电化学技术的准确、快速等优点，制作出集成度高、携带方便的微型传感器。福建血糖测试叉指电极

叉指电极导电材料的银是所有金属材料中导电性与导热性较好的材料。浙江叉指电极

柔性叉指电极使用过程中会发生弯曲或折叠，可使电场分布发生变化，相邻叉指电极的电容值与弯曲或折叠角度相关。叉指电极的电容值和灵敏度随着弯曲或折叠的角度增大而降低。柔性电极的基体有更低的硬度和杨氏模量，拥有很好的回弹性，同时根据不同的应用场景，对热稳定性、渗透性、透光性、附着性和防水性等也有不同程度的要求。柔性电极多采用聚合物作为其柔性衬底，常见的聚合物包括聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）、聚酰亚胺（PI）和聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）等，但 PET、PEN、PI 等常见的高分子塑料衬底只有可弯曲性而缺乏拉伸性，考虑到开发具有优异拉伸性的弹性衬底也是非常有必要的。因此，其他材料比如聚二甲基硅氧烷（PDMS）、热塑性聚氨酯（TPU）、脂肪族芳香族无规共聚酯（Ecoflex）和聚合物水凝胶等，都是具有低弹性模量和高可拉伸性的衬底材料。浙江叉指电极

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