安徽Pt叉指电极 芯云纳米技术供应

在微加工工艺中，主要采取硅、玻璃和高分子材料作为基底。硅作为一种半导体材料，具有良好的导电性能，作为叉指电极MEA基底时,需要在表面热生长一层SiO2,隔离金属层和硅基底之间的导电通路出于金属-氧化层-硅具有光电效应，对光敏感在检测中，光照在硅-SiO2 产生的光生电流能被金属电极输出到检测电路，增加信号的噪声幅度。在实验中发现，此噪声幅度可达几十到几百微伏，因此采用硅基底的 MEA 需要避光检测。相比于硅，玻璃具有良好的绝缘性、透光性和耐热性，具有成熟的加工工艺，在生物实验中便于采用倒置显微镜观察，被采用于 MEA 芯片的基底材料。为了降低成本，安徽Pt叉指电极，聚对二甲苯(Parylene)和聚酷亚胺 (Polyimide)也用来作为底材料。这些高分了材料具备良好的绝缘性，耐高温，灵活的可塑性，安徽Pt叉指电极，显示了良好的生物相容性，安徽Pt叉指电极，对细胞的活性没有明显的影响。在本实验室的实践过程中，也尝试采用PCB板加工MEA芯片，然而工艺中电极精度受到限制，电极尺寸限于80um，远远低于微加工工艺的芯片加工精度。柔性生物电极的研究主要包括电阻式的柔性生物电极和电容式的柔性生物电极。安徽Pt叉指电极

叉指电极是一种可以在阻抗传感器中作为信号转换器的电极形式,其检测时,首先将电极连入电化学工作站来获得分布在其周边的电场，由于细菌等待测物可与电极表面的抗体等目标受体发生特异性反应,引起周围电场变化，因而可以通过电化学阳抗谱技术检测到其表面发生的阻抗变化，从而进一是检测出待测微生物的浓度。基于金层的叉指电极的检测牛奶中体细胞数的阻抗生物传感器，其不仅能够正确区分出的不同浓度的试验奶样,而且还得出了其传感器等效电路中常相位角元件阻值与其检测的牛奶中体细胞数具有较好线性关系的结论。北京叉指电极技术叉指电极生物传感器主要包含生物识别元件、电化学转换器及信号放大装置。

微叉指电极阵列是基于 MEMS (Micro-ElectroMechanicalSystems)微加工技术，将具有和细胞尺寸匹配的金属电极阵列加工在硅或玻璃基底上的一类芯片，用于多通道同步检测细胞胞外电生理信号。微叉指电极阵列的基本结构包括3个部分: 绝缘基底，金属层电极阵列,钝化层。加工后的芯片中，金属位点暴露于细胞生存环境，并和生长在电极位点或附近细胞形成电耦合结构。当具有电兴奋特性的细胞生长在电极上时，其动作电位引起电极表面电势的变化，即为检测到的细胞胞外电位。金属层上的引线用于输出检测到的信号，它们被钝化层包裹避免和外界接触。焊盘暴露，般在采用打金线或压片的方法将焊盘和外界电路导通后用环氧树脂包袋，避免和细胞生长环境接触，并将信号输出至外界处理电路。

在电化学电极试验中，循环伏安法是施加在电极上的电压按一定速度进行电位的扫描电极则会产生电流，将该过程加以循环测得电位-电流关系，该方法也叫做CV法。该电流与施加的电位存在对应关系，将此关系进行记录并分析的方法成为电位扫描法电化学中氧化还原体系的循环伏安法测定步骤如下:1、选择溶解、电解质、工作电极、参比电极、辅助电极；2、配制电解液，连接电极测定回路；3、通氮气除去溶液中的氧离子；4、设置电位幅值、扫描速度；5、测试时从初始电位开始，到电位峰值结束，再反向扫描到初始电位。微间距叉指阵列电极为基础电极，结合酶的生物催化银沉积反应来放大分析信号。

三电极体系是指工作电极、对电极和参比电极均在微电极芯片上制备。工作电极采用金电极作为基底电极,参比电极可采用丝网印刷或银膜氯化的方法制备全固态微型银/氯化银电极，对电极则为片上铂电极。溶液中的葡萄糖被电极表面固化的酶还原产生过氧化氢，对工作电极施加电压，电离过氧化氢产生氢离子，促进电流从工作电极流出。此时电流大小与电离产生的电子量成正相关，反应速率决定电流大小从而得到血糖浓度。控制回路由 WE 和 RE 组成，维持施加在工作电极上的电压恒定，且回路中不包含极化电流，不影响极化状态和系统的稳定性。柔性生物电极通过对人体生物信号的监测能够及时反馈人体的身体健康状况从而在健康监测、疾病诊断与预警。北京聚酰亚胺叉指电极

Si 基 Pt 薄膜生物叉指电极具有耐腐蚀性和生物相容性。安徽Pt叉指电极

叉指电极制备方法包括四个步骤：(1)衬底清洗。首先需要对基片进行清洗,本工作中所用二氧化硅硅片在购得洁净硅片的基础上，再依次进行乙醇、去离子水的超声清洗。 (2) 光刻。光刻是一种将掩膜版上图形转移到衬底表面的技术，在大规模集成电路制造中有应用，其主要利用紫外光照射光刻胶使其化学性质改变，然后去除相应光刻胶，得到掩模版上的图形，进而作为后续工艺的掩模。(3) 薄膜沉积。主要包括物理方法和化学方法沉积。(4) 剥离(lift-of)。剥离是在衬底上进行薄膜沉积后，通过去除光刻胶的方法使附着在光刻胶上的金属脱附，直接沉积在衬底的金属被保留，形成电极图形。剥离工艺的优势是操作简单、成本低廉，而且去胶过程中不会对衬底产生刻蚀损伤。安徽Pt叉指电极

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